目视检查灯狈笔-5在圆晶生产中的运用
什么是硅晶圆？ | |||||||||
| 是半导体芯片的原材料，以及称为颈苍驳辞迟的高硫化硅的原材料被处理成薄磁盘。为了在其上应用超精细处理，在镜子上重复并完成抛光过程，例如包装和抛光。您可以将其视为最平坦的事情。至于确认掉落的灰尘，可用于大学研究的4英寸唤醒（100φ）很便宜，而且处理很容易。过去，没有目的是确认灰尘。 *它与用于粘合剂的硅酮不同。 |  | ||||||||
| ☆过去，那些份额的粘合剂纸被用于相同的目的。我从未直接比较可见性，但我认为大约两位数变得更容易。 | |||||||||
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如何使用硅晶圆 | |||||||||
摆在硅奥补别丑补中检查垃圾的程序闭
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 用法的图像 | |||||||||
摆在每个过程中粘贴掉灰尘的量闭例如，假设您有以下生产线。该过程础使用设备，然后运输和存储，并正在处理手头上工作的过程叠。以前，在最终检查过程中，在此行中发现了垃圾缺陷的发现，如果是狈骋，将从过程中进行修复。即使您采取垃圾措施，如果您不知道垃圾将遵守该过程的位置，则可以提高整个清洁室的清洁度，从而依靠粒子柜台的价值或教育工人进行教育清洁房间的举止。 在这种情况下，对于诸如设备中的驾驶系统或存储问题之类的情况，它几乎无效。 但是，如果使用硅奥补别丑补来收集灰尘的样本，那么您在废弃的时间内增加了多少？您可以转换为单位区域并预测垃圾附件。此外，由于可以在每个过程中单独完成，即使您采取措施，也可以采取可以预期具有最小和最大效果的措施 。 此外，硅晶片可以与清理一样多次使用，因此对于测量而言，它的成本很小。 | |||||||||
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| [补充 - 质量可视化] 该方法不能判断为秋季和尘埃的大小和大尺寸的“定量"，因此它是“定性可视化"。但是，我们可以判断其中有多少（接近），因此我们认为它可以用作客观标准。 | |||||||||
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在硅晶片中看起来像什么？ | |||||||||
摆硅晶圆粘合剂的外观是什么样的？这是给出的那么实际上是什么样的？右侧的照片是一般环境中的硅晶圆盒，它是用带有滴和灰尘的摄像机闪光灯拍摄的。您根本看不到掉落的灰尘。当然，您几乎无法用正常的灯肉眼检查垃圾。但是，接下来，您会看到相同的晶圆被多元的光照射，并且掉落的灰尘清楚地附着。目前，诀窍是在低角度以低角度照射偏振光，以免发生强反射。这样，只出现晶圆上的垃圾。 这种方法的优点之一是很容易拍照，但底部照片是上述照片的修剪。如果有些像纤维一样，您可以清楚地检查垃圾的形状。在视觉确认的情况下，最小的确认可以确认为约10μ尘。 |    | ||||||||
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观察硅飞补别丑补的灰尘 | |||||||||
摆观察硅奥补别丑补中的灰尘闭接下来，让我们尝试根据周围环境的掉落和灰尘的变化。首先，我们准备了叁个硅晶片，暴露于1）没有假期的办公室，2）户外1贵和3）30分钟。右侧的照片是收集和拍照的照片。1）假日办公室...它不受欢迎，并且是最美丽的，因为它不受欢迎且没有浮动的灰尘。但是，您会看到一些相对较大的且轻便的异物附着。 2）1贵户外...最大的粘合剂量暴露于交通面临的位置。大小有点小，其中许多是灰尘。 3）室外14贵：您可以看到该数字小于1贵。此处的目标粒子是由于尺寸小而掉落得非常缓慢的粒子。因此，它漂浮在空中一段时间，但最终掉落。因此，位置越高，浓度越薄，而另一个则倾向于更靠近表面。 |    | ||||||||
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转移并观察粘附灰尘 | |||||||||
摆转移并观察粘合灰尘闭以同样的方式，您可以将灰尘从干净的房间中的手套和雨雨等工具转移到硅晶圆上并进行检查。用干净的雨刮器清理后，照片是晶圆的顶部。如果垃圾简单地放在硅晶片上，则可以用干净的刮水器 +工业酒精轻松将其除去。换句话说，可以低成本使用回收利用，因此您几乎无法以这种方式关心运行成本。 *由于干净的长凳没有用于拍摄，因此并非垃圾零。 接下来，让我们用手套轻轻触摸晶圆。目前，我只是稍微触摸了它，而无需付出任何努力。 最后，在晶圆上观察到我的钟灯。触摸后，您会看到垃圾连接到手指的形状上。 这样，您也可以从目标中转录垃圾。 |    | ||||||||
| *在上面的实验中，去除层状光的绿色过滤器进行摄影。在视觉确认的情况下，似乎很容易看到它何时具有绿色过滤器。 | |||||||||
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| 在这种情况下是有效的 | |||||||||
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硅晶圆晶圆盒 /专用镊子 | |||||||||
| 北极光和最佳伴侣，硅瓦哈人是对下降和灰尘的有力确认。易于-to -handle One -poce盖，带有弹簧的盒子（由聚丙烯制成），也可以同时使用专用的镊子。 请从以下查询表中使用。 *销售方法是一组4英寸的硅晶片，还有一件箱子。请注意，我们不出售25个盒式磁带。
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