SELN - 001B:半导体精密制造的水平 “稳压器"

在半导体设备制造的精密世界里,毫厘之差都可能导致产物质量的天壤之别。二轴精密水平仪 SELN - 001B,作为行业内的测量与校准利器,正以其性能和无比的优势,为半导体制造公司带来未有的革新。
精准测量,奠定工艺基石
光刻机作为半导体制造的核心设备,对工作台和光路系统的水平精度要求近乎苛刻。SELN - 001B 凭借其高达 ±0.001deg 的惊人角度精度,能精确校准光刻机工作台,确保晶圆与光刻镜头的距离分毫不差,光刻图案精度得以保障。在光路系统中,对反射镜和透镜等光学元件的水平调整同样得心应手,让光刻光线精准投射,分辨率与均匀性双双提升,为制造高性能芯片筑牢根基。
刻蚀机的反应腔室与晶圆承载台水平度,直接关乎刻蚀效果。SELN - 001B 可快速探测反应腔室的倾斜角度,助力技术人员迅速调整至理想水平,实现刻蚀气体均匀分布,刻蚀均匀性和精度大幅提高。对于晶圆承载台,其双轴同时调整功能高效便捷,有效避免刻蚀偏差,产物良品率显著跃升。
镀膜设备的真空腔室与蒸发源等部件的水平状态,决定了镀膜质量。SELN - 001B 轻松应对真空腔室安装调平,将安装时间大幅缩短,同时保障腔室水平度,使镀膜均匀性更上一层楼。精确调整蒸发源水平角度,让镀膜均匀性偏差控制在极小范围,满足半导体制造对薄膜质量的严苛需求。
创新设计,突破应用难题
面对半导体设备内部复杂紧凑的结构,许多测量工具往往望而却步。SELN - 001B 却具优势,它能够轻松完成上下间隔狭窄部位的水平观测,无论是光刻机内部的精密部件,还是刻蚀机紧凑的反应腔室,都能精准测量,突破传统测量局限。
其操作极为直观,技术人员可如同观看气泡式水平仪一般,依据监视器画面进行调整,即便是初学者,借助设备的合格角度范围设置功能,也能迅速上手,轻松实现水平调整。这一特性不仅统一了操作人员的标准,减少人为误差,还大大缩短了调整作业工时,显着提升工作效率。
实际案例,见证成效
在某半导体制造公司,引进新刻蚀机时,SELN - 001B 大显身手。快速校准反应腔室水平,使产物良品率从 85% 飙升至 92%。调整晶圆承载台水平后,刻蚀不均匀问题得到有效解决,生产成本大幅降低。
另一家半导体工厂在镀膜设备维护与升级中,借助 SELN - 001B,将真空腔室安装时间从两天缩短至一天,镀膜均匀性显著改善。蒸发源升级改造后,利用该设备精确调整水平角度,镀膜均匀性偏差从 ±10% 降至 ±5% 以内。
专注先进制程芯片制造的公司,依靠 SELN - 001B 定期检测光刻机工作台与光路系统,确保光刻图案套刻精度达到纳米级,为生产先进制程芯片提供坚实保障。
二轴精密水平仪 SELN - 001B,以精准的测量、创新的设计和实际应用效果,成为半导体设备制造公司提升产物质量、提高生产效率、降低成本的选择。选择 SELN - 001B,就是选择半导体制造的未来。